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發(fā)布時間:2024-09-06作者來源:薩科微瀏覽:719
[敏感詞]篇 納浮浮沉沉的中國芯
1.1 上個世紀50年代,中國芯的開門紅
1.2 “市場換技術(shù)”行不通,產(chǎn)業(yè)陷入躊躇期
1.3千禧之年,18號文的召喚
1.4需求導致芯片進口額超石油,建立完整產(chǎn)業(yè)鏈成燃眉之急
1.5 芯片“卡脖子”卡在科學創(chuàng)新,人才是關(guān)鍵因素
附:中國半導體事業(yè)的開拓者們
上個世紀60-70代,國內(nèi)10年封閉,半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展被踩了急剎車,與國際半導體的距離逐步拉開。
從技術(shù)層面的差距來看,當時國內(nèi)還處在硅平面工藝,而且只有北京和長三角的極少數(shù)企業(yè)能生產(chǎn),如北京市878廠、科學院109廠、上海華虹和無錫華晶等,并且還仃在中、小規(guī)模電路集成。而這十年間,國外已經(jīng)開始發(fā)展到MOS工藝,尤其是支持超大規(guī)模集成電路的CMOS工藝,在工藝上已經(jīng)遠遠拉開了還只是硅平面工藝為主的國內(nèi)的集成電路制造業(yè)!
1977年,王守武指出,全國共有600多家半導體生產(chǎn)工廠,其一年生產(chǎn)的集成電路總量,只等于日本一家大型工廠月產(chǎn)量的1/10。
圖1.6 863計劃倡議人
1986年3月3日,王大珩、王淦昌、楊嘉墀、陳芳允四位科學家向國家提出要跟進世界先進水平,發(fā)展中國高技術(shù)的建議,如圖1.6所示。后來,中共中央、國務院批準了《高技術(shù)研究發(fā)展計劃(“863”計劃)綱要》。
上世紀80年代,我國開始向國外開放市場,“以市場換技術(shù)”的確使企業(yè)實現(xiàn)了技術(shù)的更新?lián)Q代,但市場換來的技術(shù)沒有“知識產(chǎn)權(quán)(IP)”。中國半導體業(yè),再次受到?jīng)_擊。
以當前卡脖子的光刻機為例,中國光刻機的研發(fā)起初緊追世界步伐。
1965年中科院研制出65型接觸式光刻機。1970年代中科院開始研制計算機輔助光刻掩模工藝。1972年,武漢無線電元件三廠編寫《光刻掩模版的制造》。70年代末,我國成功研發(fā)GK-3和GK-4,把加工圓片直徑從50毫米提高到75毫米。1980年,清華大學研制第四代分步式投影光刻機獲得成功,光刻精度達到3μm,接近國際主流水平。
1985年,機電部45所研制出采用436nmG線光源光刻機,通過電子部技術(shù)鑒定,認為達到美國4800DSW的水平。
美國是在1978年達到這個技術(shù)水平,相比之下,中國處在緊緊追隨的狀態(tài)。而那時,光刻機巨頭荷蘭的ASML公司還沒有成立(在1984年成立)。
再以當前卡脖子的EDA為例,上世紀80年代,當時歐美在EDA軟件上限制對中國出口。為了擺脫受制于人的局面,1986年前后,國家動員全國17個單位,200多名專家、老師、在校學生聚集北京集成電路設計中心,開發(fā)EDA系統(tǒng)。1993年,我國自研的EDA熊貓系統(tǒng)問世。“熊貓系統(tǒng)”價格僅為同類產(chǎn)品的1/10,美國芯片廠商也一度選擇“熊貓系統(tǒng)”,在市場中引起較大反響;到1997年的時候,國內(nèi)已經(jīng)安裝140套系統(tǒng),有來自美國、日本和歐洲的國外用戶,EDA從實用化、商品化上邁出一大步,這是中國EDA舉國科技攻關(guān)的重大成果。因我國成功開發(fā)出熊貓系統(tǒng),美國對中國EDA系統(tǒng)的禁令也隨之解封。
然而,后來“市場換技術(shù)”出現(xiàn)后,國外廠商蜂擁而至。“以市場換技術(shù)”的確使企業(yè)實現(xiàn)了技術(shù)的更新?lián)Q代,但市場換來的技術(shù)沒有“知識產(chǎn)權(quán)(IP)”。此后,國內(nèi)EDA以及光刻機等技術(shù)研發(fā)和應用陷入低谷,幾乎停滯不前,造成巨大斷檔。
與此同時,國內(nèi)開始積極向國外引進購買半導體設備和技術(shù),以為“有設備就能生產(chǎn)”,70年代從日本、美國引進了大量二手、淘汰設備建立了30多條生產(chǎn)線,由于缺乏芯片技術(shù)和設計能力以及運營管理能力,最后這些生產(chǎn)線未能發(fā)揮價值。80年代改革開放后,國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)受到來自市場的猛烈沖擊,加上“撥改貸”轉(zhuǎn)型,幾乎斷絕了半導體企業(yè)技術(shù)研發(fā)升級的路徑,大部分行業(yè)企業(yè)出現(xiàn)持續(xù)虧損,陸續(xù)倒閉。
錢學森曾經(jīng)這樣感慨道:“60年代,我們?nèi)ν度搿畠蓮椧恍恰覀兊玫胶芏啵?0年代我們沒有搞半導體,我們?yōu)榇耸ズ芏唷!?/span>
能搞出兩彈一星,為何搞不好芯片?
一個原因是,對芯片的規(guī)律認識不到位。兩彈一星的關(guān)鍵是從無到有,只要能做出來,實現(xiàn)從0到1,那么兩彈一星就意味著成功了。然而,芯片的關(guān)鍵是面向市場的產(chǎn)業(yè)化,市場上的競爭需要產(chǎn)品在技術(shù)上不斷地進行升級迭代,進而在產(chǎn)業(yè)應用中不斷突破創(chuàng)新。即不僅從0到1,還需要不斷從1到10、從10到100的不斷推進。
另一個重要原因是我們把產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重心放在了芯片制造上。市場是遵循“物以稀為貴”的原則,“稀”可以是“稀少”(薄弱),也可以是稀缺(空白)。改革開放前后近二十年,我國主要從解決“稀少”在數(shù)量上滿足市場需求,習慣于以“制造”的優(yōu)勢去滿足市場需求!直到上世紀末,也還沒有認識到我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應該把“稀缺”放在“稀少”之上,而光是用“大會戰(zhàn)”的方式引進技術(shù)(生產(chǎn)線),為此觧決不了自主研發(fā)集成電路來滿足市場需求的問題!
解決集成電路產(chǎn)品“稀缺”的途徑,不是“制造”,而是“創(chuàng)業(yè)”!美國半導體,正是在個人計算機這一新興業(yè)態(tài)出現(xiàn)后得以快速發(fā)展。個人計算機為芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了無限廣闊的市場空間,并帶動著芯片的設計、制造、封測、設備、材料等產(chǎn)業(yè)鏈各個環(huán)節(jié)的發(fā)展。個人計算機推動美國半導體產(chǎn)業(yè)開始進入黃金發(fā)展期,先后涌現(xiàn)出諸多明星企業(yè),如英特爾、AMD、英偉達等。
中國芯片業(yè)躊躇的70-90年代,全球半導體產(chǎn)業(yè)的重心從晶體管制造向芯片研發(fā)轉(zhuǎn)變,沿著摩爾定律高速發(fā)展。從技術(shù)工藝來看,1987年到1997年,十年間制程迭代從3μm、1.5μm、1.2μm、1.0μm、0.8μm、0.6μm、0.5μm、0.3μm到0.25μm,1999年推出0.18μm。這都是基于光刻技術(shù)能夠突破的前提。
半導體技術(shù)推進的同時,全球的產(chǎn)業(yè)格局也在逐步演變。
先看美國,1965年,摩爾定律在美國誕生,1971年英特爾推出DRAM動態(tài)存儲器,標志著大規(guī)模集成電路誕生開始。1973年,[敏感詞]款商業(yè)個人電腦Micral問世,這款電腦基于英特爾8008微處理器設計。1976 年,蘋果公司并推出了[敏感詞]電腦產(chǎn)品。個人電腦這一新興應用,帶動美國半導體業(yè)的快速發(fā)展。20世紀70-80年代,美國半導體業(yè)進入高速發(fā)展階段,并成為全球半導體的霸主。
日本半導體的發(fā)展源于美國的有意扶持。美國為了對抗蘇聯(lián),在1962年向日本開放當時最為先進的集成電路技術(shù),日本NEC公司獲得技術(shù)授權(quán),日本政府推動NEC又將技術(shù)開放給了三菱、京都電氣等企業(yè)。由此,日本半導體產(chǎn)業(yè)雛形形成。70年代,日本政府牽頭成立VLSI聯(lián)合研發(fā)體,推動“超大規(guī)模集成電路計劃”,這是國家層面的半導體發(fā)展計劃;日本政府將產(chǎn)業(yè)界、高校和研究機構(gòu)人才匯聚在一起,共同進行先進技術(shù)的研發(fā)創(chuàng)新,通過4年的時間,共獲得1000多項專利,一些技術(shù)還領(lǐng)先了美國。80年代,日本芯片在全球的市場占有率達到53%,超過了美國的37%,全球10大半導體廠商中日本企業(yè)獨占6席,日本成為了當時全球半導體的霸主。
為了奪回霸主地位,90年代,美國半導體對日本半導體發(fā)起進攻,通過知識產(chǎn)權(quán)保護、反傾銷、反壟斷等一系列措施,用微處理器的個人電腦技術(shù)將以半導體存儲器為主的日本集成電路的強勁勢頭打壓下來,美國集成電路產(chǎn)業(yè)再次回到霸主地位。
韓國和臺灣地區(qū)的半導體發(fā)展,與美國有意識平衡日本半導體的發(fā)展勢頭有關(guān)。韓國半導體起步于上個世紀60-70年代,主要以美、日半導體廠商投資的組裝產(chǎn)業(yè)為主,利用廉價勞動力的來料加工模式;通過這種方式,韓國陸續(xù)從美國和日本獲得半導體工業(yè)所需技術(shù)。80年代,韓國政府推出[敏感詞]扶持半導體產(chǎn)業(yè)的十年規(guī)劃,加大對半導體產(chǎn)業(yè)的投入,這個階段的韓國半導體開始進入飛速發(fā)展期。90年代,韓國憑借三星、海力士兩大支柱性企業(yè),韓國在存儲市場的份額超過日本,不僅穩(wěn)住全球存儲器產(chǎn)業(yè)的霸主位置,也成為全球半導體版圖上的重要一極。
臺灣地區(qū)的半導體,起步于上個世紀70年代。1973年,臺灣地區(qū)成立工業(yè)技術(shù)研究院(以下簡稱“工研院”),工研院是開創(chuàng)臺灣半導體產(chǎn)業(yè)的先鋒。臺灣地區(qū)引入美國半導體技術(shù),并安排工程師赴美進行半導體相關(guān)的培訓。1977年,工研院建立臺灣首座4英寸晶圓的集成電路示范工廠。80年代,臺灣地區(qū)半導體進入起飛階段,相繼成立聯(lián)華電子(簡稱“聯(lián)電”)和臺灣積體電路(簡稱“臺積電”)、臺灣光罩、世界先進等半導體企業(yè)。臺灣地區(qū)半導體關(guān)鍵性人物張忠謀從美國回到臺灣地區(qū)時,先后擔任臺灣工研院的院長、聯(lián)電的董事長,1987年創(chuàng)辦臺積電。至今,臺灣地區(qū)擁有全球半導體制造龍頭的臺積電、半導體封測龍頭日月光,同時也有芯片設計巨頭聯(lián)發(fā)科、聯(lián)詠、瑞喅等。在半導體制造環(huán)節(jié),臺灣地區(qū)的產(chǎn)業(yè)地位無人能撼動。
回顧這個階段,我們曾經(jīng)追趕的美國,與我們的差距越來越大;比我們落后和起步晚的日本、韓國、中國臺灣,也遠遠地超越了我們。這個時期的中國大陸半導體,只留下一聲嘆息,“豪邁的熱情煮出一鍋夾生飯”。
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