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- 更新日期: 2024-09-19
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FinFET技術在晶圓制造中引入了一種創新的三維晶體管結構,通過增強柵極控制和降低漏電流,實現了更高效的晶體管性能。這對于實現更小、更快、更節能的半導體器件是至關重要的。隨著半導體工藝節點的不斷縮小,FinFET技術的應用也變得越來越普遍和重要。 1. 背景:傳統平面晶體管的局限性 在傳統的平面金屬氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)中,隨著工藝節點的縮小(比如從90nm到65nm再到更小的節點),我們遇到了以下技術挑戰: 短溝道效應:隨著晶體管的柵極長度縮短,柵極對溝道的控制能力減